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四氟化碳分析氦离子色谱仪GC-9560-PDD
详细信息| 询价留言氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。
项目 指 标 四氟化碳（CF4）纯度（体积分数）/10-2 ≥ 99.999 99.995 99.99 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ 4 20 40 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 ＜ 1 5 10 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 ＜ 1 5 10 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.1 0.5 1 六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6 ＜ 1 1 5 水分（H2O）含量（体积分数）/含量，10-6 ＜ 3 5 10 酸度（以HF计）含量含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.1 0.3 0.3 其它卤碳化合物a含量（体积分数）/10-6 ＜ 1 10 30 总杂质含量(体积分数)/l0-6 ≤ 10 50 10 颗粒 供需双方商定 供需双方商定 供需双方商定 其它卤碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。
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